2023年3月31日-4月3日,2023國(guó)際顯示技術(shù)大會(huì)(2023 International Conference on Display Technology, ICDT 2023)在中國(guó)江蘇省南京國(guó)際展覽中心舉辦。此次大會(huì)的討論以“涵蓋新型顯示技術(shù)領(lǐng)域及智能制造技術(shù)的最新進(jìn)展”為交流主題,旨在積極推進(jìn)全球范圍內(nèi)尤其是中國(guó)顯示技術(shù)領(lǐng)域的研究與發(fā)展,有包括學(xué)術(shù)界大牛和企業(yè)界大咖帶來(lái)的主題報(bào)告,覆蓋顯示17個(gè)技術(shù)領(lǐng)域的近450個(gè)技術(shù)研討會(huì)報(bào)告。五邑大學(xué)柔性傳感材料與器件研究開發(fā)中心劉賢哲博士帶領(lǐng)課題組學(xué)生參加會(huì)議,提交了學(xué)術(shù)墻報(bào)并作口頭報(bào)告。
圖1 劉賢哲博士正在做學(xué)術(shù)報(bào)告
劉賢哲博士在此次會(huì)議中作了題為“Research on oxide thin film transistors for wearables sensors”的口頭報(bào)告,報(bào)告中劉賢哲博士首先介紹了柔性傳感器的發(fā)展與應(yīng)用,由于柔性傳感器可以拉伸、壓縮、彎曲,以及能夠無(wú)隙貼覆在非平整被測(cè)物表面的特點(diǎn),使其在穿戴電子、智能機(jī)器人、健康檢測(cè)、仿生電子皮膚、人機(jī)交互等領(lǐng)域具有非常好的前景。目前大多數(shù)傳感器仍然在使用無(wú)源被動(dòng)式傳感單元,設(shè)備的功耗和精度面臨著巨大的挑戰(zhàn),而有源矩陣薄膜晶體管 (TFT)背板可以有效地降低可穿戴電子器件的信號(hào)串?dāng)_和功耗;高質(zhì)量的溶液處理金屬氧化物薄膜晶體管通常在高溫 (>400℃)下獲得,這對(duì)與柔性塑料基板的兼容性是一個(gè)挑戰(zhàn);之后詳細(xì)介紹了柔性有源矩陣TFT背板中氧化物半導(dǎo)體和氧化物介電層的背景與研究成果;最后著重介紹了五邑大學(xué)柔性傳感材料與器件研究開發(fā)中心開發(fā)的智能可穿戴鞋墊系統(tǒng),對(duì)柔性有源矩陣TFT背板與柔性傳感器相結(jié)合開發(fā)新一代低功耗,低串?dāng)_,高集成度的傳感器有重要意義。
在學(xué)術(shù)墻報(bào)中劉賢哲博士帶領(lǐng)研究生陳澳研究了高k氧化鋯介電薄膜的低溫退火過(guò)程。結(jié)果表明,電烤箱(EO)和深紫外(DUV)輻照處理退火過(guò)程可以獲得與熱退火相似的介電性能。EO和DUV輻照過(guò)程有效地促進(jìn)了M-O框架,消除了自旋涂層薄膜中的氧缺陷,從而具有良好的低漏電流性能。因此,將低溫?zé)嵬嘶鹋cEO和DUV輻照相結(jié)合,有潛力實(shí)現(xiàn)快速、低溫生產(chǎn)高質(zhì)量、柔性的氧化物電子器件。
圖2 學(xué)術(shù)墻報(bào)展覽
在創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)項(xiàng)目路演中,柔性傳感材料與器件研究開發(fā)中心研三學(xué)生李曉炎作題為“可穿戴智能足部運(yùn)動(dòng)健康顯示識(shí)別系統(tǒng)”項(xiàng)目匯報(bào),首先介紹了現(xiàn)階段人們對(duì)健康及生活品質(zhì)有著越來(lái)越高的追求,之后提出國(guó)外對(duì)觸覺(jué)傳感器技術(shù)壟斷,為此五邑大學(xué)柔性傳感材料與器件研究開發(fā)團(tuán)隊(duì)自研柔性傳感技術(shù),從傳感器定量分析、范圍檢測(cè)、響應(yīng)時(shí)間和防水測(cè)試系統(tǒng)的驗(yàn)證了傳感器的技術(shù)優(yōu)勢(shì),制備出高空間分辨率的智能鞋墊,最后提出健康顯示識(shí)別方法并建立系統(tǒng),在人機(jī)交互領(lǐng)域系統(tǒng)和智能終端等領(lǐng)域具有重要意義,與顯示領(lǐng)域?qū)W者就可穿戴智能足部運(yùn)動(dòng)健康顯示識(shí)別系統(tǒng)展開熱烈交流,并在創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)項(xiàng)目路演中獲得創(chuàng)新獎(jiǎng)。

圖3 李曉炎在創(chuàng)新區(qū)展示
圖4 創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)項(xiàng)目路演創(chuàng)新獎(jiǎng)
ICDT是國(guó)際信息顯示學(xué)會(huì)(SID)在美國(guó)境外舉辦的唯一一個(gè)獨(dú)立品牌的國(guó)際顯示技術(shù)會(huì)議。ICDT立足于中國(guó),面向全球,宗旨是加強(qiáng)顯示技術(shù)國(guó)際交流與合作,提升中國(guó)顯示技術(shù)及顯示產(chǎn)業(yè)鏈整體水平,實(shí)現(xiàn)中國(guó)顯示技術(shù)從跟進(jìn)、同步到引領(lǐng)的變革。
圖5 劉賢哲博士與參會(huì)學(xué)生合照